イオン注入装置、イオンソースヘッドなど半導体装置のメンテナンスを行います。1000クラスのクリーンルームを完備

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真空機器の精密洗浄

エイムの使命

 精密洗浄した真空装置部品がお客様でそのまま使用できることがエイムの目指すメンテナンスです。


メリット

 1.エイム独自のメンテナンス技術によりライフが安定します。
 2.突然のトラブルが軽減されます。
 3.計画的なメンテナンスによりお客様の生産性向上につながります。


廃棄物の取組み

 洗浄で発生する有害な産業廃棄物は特別管理産業廃棄物として管理し委託処分を実施しております。


事業内容

 ・イオン注入装置部品洗浄・修理
 ・CVD装置部品洗浄・修理
 ・各種配管・トラップ洗浄
 ・各種バルブ洗浄修理
 ・真空ポンプ修理・真空配管設計
 ・製作・施工・冶具の製作
 ・金属加工・製作


洗浄品に伴う設備

メンテナンス 前工程用設備

●ドラフタ―

 汚染物の除去も安全な環境で行います
 

●ドライブラスト機

 ・大型ブラスト機 W=1800 H=1000 D=1000
 ・前面開放で大物部品もブラスト可能です
 

●洗浄槽

 ・大型洗浄槽完備
 ・W2400XD550XH250mmの洗浄槽により配管等長物も洗浄可能です。
   


メンテナンス 後工程用設備

●超純水超音波洗機

 ・純水洗浄で汚染物の除去を行います
 ・最大 W1200X D1200X H200のワークが洗浄可能です
   

●真空乾燥機

 ・クリーンな真空乾燥が可能
 ・大型乾燥機2台完備しております
   

●クリーンルーム

 ・ファンフィルターユニット2台によりクリーン度UP
 ・クリーンベンチ下クラス1000でメンテ品の組立を致します
   

●リークディテクター

 ・リーク検査で安心してご使用いただけます
 ・専用チャンバー、治具を自社で設計、製作出来ますのであらゆる製品のリーク検査が可能です
   


その他の設備

設備情報

・集塵装置 2台 ・ドラフター3台 ・ブラスト装置4台 ・純水超音波洗浄システム 1台 ・クリーンベンチ(クラス1000) ・FFU 2台 ・ヘリウムリークディテクター 2台 ・超音波洗浄機 2台 ・真空乾燥機 2台 ・乾燥機 2台 ・エアシャワー ・簡易クリーンルーム

洗浄品 before after

 メンテナンス事業部は主に半導体製造装置のメンテナンス
Assy部品洗浄を行っております。
お客様の生産向上とロングライフに貢献致します。

下記写真は洗浄品のbefore afterの一例です。
リークデテクターによる検査で、即取り付け使用可能です。


高真空バルブ
O/H前
O/H後
  バルブの機種によりベローズ交換も可能です。
Oリングシールの交換も行い真空試験及び動作試験にて性能保証を致します

引き出し電極
O/H前
O/H後
 
  各部品の交換基準を元に管理致します

イオン源
O/H前
O/H後
  フィラメントを始め各部品交換も可能 リーク検査済みで即使用可能です

ターボポンプアダプター
O/H前
O/H後
  AL部品のリーク修理も可能です

ソースマウンティング
フランジ
O/H前
O/H後
  水冷部水漏れ検査、シール面の仕上げも行います

ターゲット
O/H前
O/H後
  超純水の仕上げ洗浄を行いますのでパーティクル低減します

ソースブッシング
修理前
修理後
  放電痕、クラック修理で廃棄品も修理で使用可能となります

真空ポンプ修理対応可能一覧  2014.12.11現在

ロータリーポンプ

アルカテル RP ULVAC RP エドワーズ RP 樫山工業
2005SD D330D E1M175 KRS350
2010SD D330DK E2M18 KRS901
2015SD D650D E2M40 KRS1100
2021SD D650DK E2M8 KRS1301
2005I D950D E2M80 KRS1800
2010I D950DK    
2015I D950DKLTS
2021I EC403
2010C1 EC603
2015C1 EC801
2021C1 EC803
2010C2 VD401
2015C2 VS2401
2021C2 G100
2033SD  
2063SD
2033C1
2063C1
2033C2
2063C2
2100


メカニカルブースタポンプ ドライポンプ

ULVAC MBP エドワーズ MBP 荏原製作所 DRY エドワーズ DRY
PMB-001C EH250 A07V QDP-40
PMB-001CM EH500 A10S QDP-80
PMB-003C QMB250 A25S DP-40
PMB-003CM QMB250F A30W DP-80
PMB-006C EH2600 A70W  
PMB-006CM   40*20
  50*20
80*25
150*40


スクロール

岩田製(エドワーズ製)
ISP-250(ESDP12)
ISP-500(ESDP30)


本リストにない機種でも対応が可能な場合がありますので確認ください。


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